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爱普生拓优科梦:QMEMS技术推动高精度石英器件发展


通过精密工程技术,以硅、聚合物和金属为载体,将微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源集于一体,这就是我们熟知的“微机电系统”(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)。

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